- Dải đo (X × Y × Z): 15.75"x15.75"x9.84"(400 × 400 × 250mm)
- Bộ phận thay đổi độ phóng đại: Programmable Power Turret 1X, 2X, 6X
- Đơn vị độ phân giải / tỷ lệ: 0.1μm / bộ mã hóa tuyến tính loại phản xạ
- Chiếu sáng:
- Đồng trục: -
- Đèn stage: -
- Phản xạ dọc: Đèn LED màu
- Đường viền: Đèn LED trắng
- Đèn vòng lập trình: Đèn LED màu
- Đo độ chính xác:
- Trục E1 X / Y : (1.5+3L / 1000) μm
- Trục E1 Z: (1.5+4L / 1000) μm
- Trục E2 X/Y: (2.0+4L / 1000) μm
- TP: E, mặt X-Y-Z: (1.8+3L / 1000) μm
- Vật kính QV: 2.5 QV-HR 2.5x QV-SL2.5x
- Độ lặp lại LAF: σ: 0.4μm
- Kích thước kính Stage: 12.41"x21.69"(493 × 551mm)
- Mức tải tối đa: 88 lbs.(40kg)
- Kích thước máy chính: 40.43"x55.39"x70.00"(1027×1407×1778mm)
- Trọng lượng (bao gồm chân gắn máy): 1,276 lbs.(579kg)
- Optional accessories:
- Laser Auto Focus
- Rotary Index
Phụ kiện mua thêm:
Bình luận