- Dải đo (X × Y × Z): 9.84"x 7.87"x 7.87" (250 × 200 × 200mm)
- Đơn vị độ phân giải / tỷ lệ: 0.1μm / bộ mã hóa tuyến tính loại phản xạ
- Chiếu sáng:
- Đèn stage phản xạ dọc: Đèn LED trắng
- Đồng trục: Đèn LED trắng
- Đèn vòng lập trình: Đèn LED trắng
- Đo độ chính xác:
- Trục E1 X / Y: (2 + 3L / 1000) μm
- Trục E1 Z: (3 + 5L / 1000) μm
- Độ lặp lại LAF: σ: 0.4μm
- Kích thước kính stage: 12.28 "x 10.59" (312 x 269mm)
- Mức tải tối đa: 33lbs. (15kg)
- Kích thước: 23.07 "x 33.35" x 60.16 "(586 x 847 x 1528mm)
- Trọng lượng (bao gồm chân gắn máy): 595lbs. (270kg)
- Phụ kiện mua thêm:
- Tiêu cự điều chỉnh bằng laser
- Rotary Index
Bình luận