- Dải trục X: 0-11.81in 0-300mm
- Dải trục Y: 0-7.87in 0-200mm
- Dải trục Z: 0-7.87in 0-200mm
- Độ phân giải: 0.02µm
- Độ phân giải Z scale dùng chế độ tự động lấy nét (TAF): 0.3µm
- Camera: Camera CCD độ nhạy cao B&W
- Độ chính xác:
- E1xy-(1.5+3L/1000)µm
- E1z-(1.5+4L/1000)µm
- E2xy-(2+4L/1000) µm
- Tốc độ truyền động: 200mm/s
- Chiếu sáng: Đèn LED trắng bề mặt
- Đường viền- Đèn LED trắng
- Đèn vòng lập trình- Đèn LED trắng
- Hệ thống đổi độ phóng đại:turret được lập trình (1x2x6x)
- Kích thước kính stage: 15.7x10.7in 399x271mm
- Chiều cao phôi tối đa: 7.8in 200mm
- Trọng lượng tải tối đa: 33lbs 15kg
- Kích thước: 33.8x37.4x63.3in 859x951x1609mm
- Trọng lượng: 794lbs 360kg
- Optional accessories:
- Lấy nét tự động bằng laser
- Rotary Index
Phụ kiện mua thêm:
Bình luận