- Dải đo trục X: 140mm
- Độ phân giải trục X: 0.2μm
- Độ thẳng trục X: 0.8μm/100mm
- Tốc độ rà trục X: 0.1-10mm/s
- Dải đo trục Z: ±20mm
- Độ phân giải trục Z: 0.05μm
- Tốc độ rà trục Z: 0.5-10mm/s
- Độ chính xác tuyến tính: ±(1.5+|0.2H|)μm, H là chiều cao tính bằng mm
- Độ chính xác đo góc: ±2'
- Độ chính xác cung: ±(2+R/8)μm, R là đầu bi tiêu chuẩn 2~10mm
- Bán kính đầu dò: 25μm
- Hướng di chuyển: về phía sau
- Lực đo: 6.86-9.8mN
- Đơn vị đo: mm/inch
- Góc theo dõi: 72° (hướng lên trên), 87° (hướng đi xuống)
- Chế độ điều khiển: động cơ
- Hành trình của trục Z: 430mm
Bình luận