- Độ phân giải: tối đa 6 nm (đầu đo 210 mm)
- Điểm bắt đầu chiều dài di chuyển đầu đo (trục X): 0.1 mm
- Chiều dài que đo: 210 mm; 350 mm; 490 mm
- Điểm kết thúc chiều dài di chuyển đầu đo (trục X):280 mm
- 350 mm Z-Achse
- Có điều chỉnh góc trục X
- Tốc độ định vị: 0.02 – 200 mm/s (trục X)
- Độ lệch: 0.350 µm/60 mm,0.400 µm/140 mm,0,75µm/280 mm
- Tốc độ đo: 0.02 – 10 mm/s
- Dải đo:70 mm (trục Z với đầu đo 350 mm) tối đa 100 mm (đầu đo 490 mm)
- Lực đo:4 mN-30 mN, trục Z+ và Z-, điều chỉnh bằng phần mềm
Bình luận