- Phương pháp đo: Giao thoa kế, giao thoa kế ánh sáng trắng.
- Nguồn sáng (WLI): LED, 505 nm
- Dải đo: Đơn vị cảm biến có thể di chuyển được bằng tay 200 mm trên trục Z
- Bàn có thể di chuyển theo cách thủ công trên trục X và Y
- Giao thoa kế, giao thoa kế ánh sáng trắng:
- Dải đo (WLI): lên đến 100 µm (phương thẳng đứng).Nhiều hơn theo yêu cầu.
CÔNG TY TNHH IMALL VIỆT NAM
Bình luận