- Phương pháp đo: đầu đo stylus
- Hệ thống que đo: BFW skidless system
- Dải đo: ±250 µm (lên tới ±750 µm với chiều dài que đo x3)
- Độ phân giải prôfin:
- ±250 µm: 8 nm
- ±25 µm: 0.8 nm
- Bộ lọc: Bộ lọc Gauss theo ISO 11562, bộ lọc theo ISO 13565
- Số n của chiều dài lấy mẫu: 1– 5
- Tốc độ tiếp xúc: 0.2 mm/s; 1.0 mm/s
- Đầu đo: 2 µm
- Lực đo: 0.75 mN
Bình luận