- Nguyên lý làm việc: Vỏ và hệ thống lọc tạo một không gian kín, bơm vào khí trơ (nitơ, argon, heli), loại bỏ tạp chất để đạt môi trường tinh khiết lý tưởng (nước 、oxy lppm ).
- H2O O2: ≤lppm
- Độ rò rỉ: ≤0.05Vol% h (độ rò rỉ oxy / tháng <1L)
- Độ chân không Foreline: 0
Bình luận