- H2O, O2: ≤lppm
- Độ rò rỉ: ≤0.05Vol% h (Độ rò rỉ oxi theo tháng <1L)
- Độ chân không dây chuyền: 0 ~ -0.1MPa (bàn chân không 2.5-giai đoạn)
- Độ chân không tủ: 0 ~ -0.1MPa (bàn chân không 2.5-giai đoạn)
- Độ chịu đựng buồng chuyền: Độ chân không ≥100Pa
- Khí làm việc: nitơ, argon, heli (độ tinh khiết 99.5%)
Bình luận