- Nguồn plasma: Nguồn điện cao áp tần số thấp
- Máy đo khí: Khí oxy, tốc độ dòng chảy 30 - 300 mL/phút
- Buồng phản ứng: I.D 100mm×L160mm
- Kích thước bên ngoài/Trọng lượng: W310mm×D300mm×H448mm/Khoảng 16kg
- Nguồn (50/60Hz): AC115V/220V Một pha với biến áp bước xuống
- Cổng kết nối bơm chân không: O.D 15mm với ống nối (Tốc độ xả của bơm được đề xuất 30L/phút)
- Cổng kết nối gas: O.D 6.35mm có ống nối





Bình luận