- Chế độ Plasma: DP/RIE
- Tần số dao động: 13.56MHz
- Công suất RF: 1000W ~ 2,000W
- Kích thước làm việc: 400W×375D mm, tấm phẳng song song (Multi)
- Khí phản ứng: Kiểm soát lưu lượng khối lượng, 2 hệ thống + 1 cho xả khí
- Bơm chân không: Đã bao gồm, Thể tích khí thải 1,000L~1500L/ phút
- Thiết bị an toàn: Công tắc cửa, Khóa bảng điều khiển bên, Công tắc dừng khẩn cấp, Thiết bị ngăn ngừa quá nhiệt
- Kích thước bên trong （W×D×H mm）: 600×554×440mm
- Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: 900×1000×2040mm
- Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp
CÔNG TY TNHH IMALL VIỆT NAM
Bình luận