- H2O, O2: ≤lppm
- Tỉ lệ rò rỉ: ≤0.05Vol% h (rò rỉ oxi / tháng <1L)
- Độ chân không Foreline: 0 ~ -0.1MPa (bàn chân không 2.5-giai đoạn)
- Độ chân không vỏ: 0 ~ -0.1MPa (bàn chân không 2.5-giai đoạn)
- Buồng chuyển tiếp: chịu đựng độ chân không ≥100Pa
- Khí hoạt động: nitơ, argon, heli (độ tinh khiết 99.5%)
Bình luận