- Dải đo (chung cho tầm nhìn và UMAP):
- X × Y: 7.28x7.87" (185×200mm)
- Z:
- 6.89" (175mm): UMAP101/103
- 7.09" (180mm): UMAP107/110
- 7.28" (185mm): UMAP130
- Độ chính xác đo: E1X, E1Y : (0.25+L/1000)µm; E1Z : (1.5+2L/1000) µm
- Độ lặp lại: UMAP 101/103/107- s = 0.8 µm; UMAP 110/130- s = 0.12 µm
Bình luận