- Dải trục X: 0-50in 0-1250mm
- Dải trục Y: 0-50in 0-1250mm
- Dải trục Z: 0-4in 0-100mm
- Độ phân giả: 0.1µm
- Camera CCD độ nhạy cao: BW
- Độ chính xác (20°C 1.0°C):
- E1xy-(2.2+3L/1000)µm
- E1z-(4.0+5L1000)µm
- E2xy-(3.5+4L/1000)µm
- Tốc độ động cơ tối đa: X/Y 300/150mm/s
- Chiếu sáng: LED bề mặt, trắng; LED viền, trắng; PRL-LED, trắng (4 divisions)
- Hệ thống thay đổi độ phóng đại: Programmable Power Turret 1X, 2X, 6X
- Kích thước Stage glass: 56.7x56.7in 1440x1440mm
- Kích thước: 85.3x92x61in 2166x2340x1554mm
- Trọng lượng: 7920lbs 3600kg
CÔNG TY TNHH IMALL VIỆT NAM
Bình luận