- Dải trục X: 0-60in 0-1500mm
- Dải trục Y: 0-70in 0-1750mm
- Dải trục Z: 0-4in 0-100mm
- Độ phân giả: 0.1µm
- Camera CCD độ nhạy cao: BW
- Độ chính xác (20°C 1.0°C): E1xy-(2.2+3L/1000)µm
- E1z-(4.0+5L1000)µm
- E2xy-(3.5+4L/1000)µm
- Tốc độ động cơ tối đa: X/Y 300/150mm/s
- Chiếu sáng: LED bề mặt, trắng; LED viền, trắng; PRL-LED, trắng (4 divisions)
- Hệ thống thay đổi độ phóng đại: turret được lập trình 1X, 2X, 6X
- Kích thước Stage glass: 67.5x77.5in 1714x1968mm
- Kích thước: 96x113x61in 2440x2868x1554mm
- Trọng lượng: 9900lbs 4500kg
Bình luận