Lò nung chân không TOB-DSP-1200℃-PECVDS (1200℃, 0.1-10 5Pa)

Thông số kỹ thuật

Công suất: 3.5  KW Kích thước ống lò (mm): Dia 60(OD) X1200mm Kích thước: 1300X420X1200 Nguồn: 220V Số pha: Một pha Chế độ điều khiển nhiệt độ 1.Điều khiển nhiệt độ Yudian: chỉ sử dụng nguyên lý điều khiển nhiệt độ PID cho 30 phần. 2.Điều khiển nhiệt độ FP93 (Công nghệ Nhật Bản) Bộ khởi động: Bộ khởi động chuyển pha SCR: 106 / 16E Germany Simon Kang Nhiệt độ tối đa: 1200 °C Nhiệt độ định mức: 1100 ℃ Độ gia nhiệt: ≤30 ℃/ phút (có sẵn theo yêu cầu thay đổi) Độ chính xác điều chỉnh: +/- 1 ℃ Độ gia nhiệt đề xuất: ≤15℃/ phút Chiều dài thiết bị gia nhiệt: 400mm Kiểu cặp nhiệt điện: Kiểu K Chứng chỉ: CE Nhiệt độ bề mặt xung quanh: ≤45 ℃ Công suất động cơ quay: 40W Công suất điện: 40W Góc nghiêng lò: -10 ~30 độ Độ quay ống: Tốc độ độ cơ có thể tùy chỉnh thay đổi liên tục 1-25 rev / phút Công suất Plasma RF Dải công suất đầu ra: 0-500W Cong suất phản xạ tối đa: 10W Tần số tín hiệu: 13.56MHZ ± 0.005% Độ ồn:<30 dB Làm mát bằng khí: Phương pháp làm mát Công suất đầu vào: 208-240V 50 / 60HZ Thông số kỹ thuật kệ thống cung cấp GX Dải đo chuẩn: Độ điều chỉnh dòng proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (tùy chọn thang đo) Độ chính xác: ± 1.5% Áp suất giảm: <0.01MPa Độ lặp lại: ± 0.2% F.S Áp suất vận hành tối đa: 3MP Hệ thống xả VS-0.1 Nguồn: 220V / 380V 380W Lưu lượng bơm: 2L / S Đồng hồ đo điện trở chân không: ZDR-I Dải đo chân không: 0.1-10 5 Pa Bơm chân không: VR…