Tủ phản ứng Plasma kiểu Barrel Yamato PR500 (215007, 500W)
Tủ phản ứng Plasma kiểu Barrel Yamato PR500 (215007, 500W) nổi bật với Hệ thống: Chế độ DP, kiểu Barrel; Đầu ra tần số cao: Max. 500W, được IMALL phân phối chính hãng tại Việt Nam.
- Mã sản phẩm
- 947155403581
- Model
- PR500
- Nhà sản xuất
- YAMATO
- Xuất xứ
- -
- Bảo hành
- 1 năm
- Giá tham khảo
- Liên hệ
- Tình trạng
- Luôn sẵn hàng
Thông số kỹ thuật
Hệ thống: Chế độ DP, kiểu Barrel Đầu ra tần số cao: Max. 500W Tần số dao động: 13.56MHz Phương pháp điều chỉnh: tự động Buồng phản ứng: Làm bằng thạch anh, ø215×305mm Hệ thống khí phản ứng: Hệ thống đôi (O2/CF4) Hệ thống điều khiển: thủ công Chất liệu đường ống: SUS, Teflon Đầu vào khí: 1/4 "swagelok Đầu vào máy bơm chân không: NW25 Kích thước bên ngoài: W438×D520×H760mm Nguồn điện: AC115V/AC220V Một pha với máy hạ áp Khung cho wafers (2, 3, 4, 5 inches) Khung góc đa năng Aluminum etching tunnel (tối đa φ180) Bơm chân không (250L/phút trở lên)