- Hệ thống: Chế độ DP, kiểu Barrel
- Đầu ra tần số cao: Max. 500W
- Tần số dao động: 13.56MHz
- Phương pháp điều chỉnh: tự động
- Buồng phản ứng: Làm bằng thạch anh, ø215×305mm
- Hệ thống khí phản ứng: Hệ thống đôi (O2/CF4)
- Hệ thống điều khiển: thủ công
- Chất liệu đường ống: SUS, Teflon
- Đầu vào khí: 1/4 "swagelok
- Đầu vào máy bơm chân không: NW25
- Kích thước bên ngoài: W438×D520×H760mm
- Nguồn điện: AC115V/AC220V Một pha với máy hạ áp
- Khung cho wafers (2, 3, 4, 5 inches)
- Khung góc đa năng
- Aluminum etching tunnel (tối đa φ180)
- Bơm chân không (250L/phút trở lên)
CÔNG TY TNHH IMALL VIỆT NAM
Bình luận