- Dải đo chiều dài (Z) (mm): 400 / 800 / 1200 / 1600 / 2000 / 2400
- Dải đo đường kính (X) (mm):120/220
- Độ phân giải chiều dài/đường kính (mm): 0.0001
- Độ phân giải góc (°):0.001
- Giới hạn sai số chiều dài (Z) (µm):(3 + L/100) µm, L (chiều dài) mm
- Giới hạn sai số đường kính (X) (µm):(0.8 + L/100) µm, L (chiều dài) mm
- Lens: Hệ thống đo quang (OMS) với phần mềm và matrix camera
- Khối lượng phôi tối đa (kg): 20 / 60





Bình luận