- Phương pháp đo: Bằng giao thoa kế,Kính hiển vi đồng tiêu và đồng tiêu
- Nguồn sáng (CM and WLI): LED, 505 nm
- Dải đo: Đơn vị cảm biến có thể được di chuyển 100 mm theo trục Z, được điều khiển bằng CNC
- Bàn có thể được di chuyển 100 mm theo trục X và Y, điều khiển bằng CNC
- Giao thoa kế, giao thoa kế ánh sáng trắng:
- Dải đo (WLI): Hơn 4 mm (Chế độ tiêu chuẩn), hơn 20 mm (chế độ mở rộng)
- Kính hiển vi đồng tiêu:
- Dải đo (CM):hơn 12 mm (tùy thuộc vào độ phân giải ở Z và ống kính
Phụ kiện mua thêm:
Bình luận