- Chế độ Plasma: RIE (khắc ion phản ứng)
- Cấu trúc điện cực: Loại bảng phẳng song song
- Kích thước điện cực: W130×D130mm
- Máy đo chân không: Máy đo Bourdon
- Bộ điều khiển: Sequencer
- Phương pháp phù hợp: Tự động điều chỉnh
- Kích thước bên trong (W×D×H mm): 230×130×100mm
- Kích thước bên ngoài (W×D×H mm): 438×520×565mm
- Nguồn điện: 115V/220V Một pha với máy hạ áp
Bình luận