- Chế độ Plasma: chọn RIE/DP
- Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song độc lập 3-stage
- Máy đo chân không: máy đo điện dung
- Đầu ra tần số cao: Max 600W
- Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator
- Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD
- Phương pháp: Tự động điều chỉnh
- Kích thước buồng: W350×D270×H300 mm
- Kích thước làm việc: W250×D220mm 3 khay làm việc
- Vật liệu buồng: Nhôm
- Khí phản ứng: 2 hệ (Argon, Oxy)
- Xả khí: Nitơ hoặc không khí khô
- Bơm chân không quay: 345L/phút. (bao gồm)
- Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: W600×D722×H700 mm
- Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp
CÔNG TY TNHH IMALL VIỆT NAM
Số hotline
(028) 3882 8382
Tài Khoản
Bình luận