- Chế độ Plasma: chọn RIE/DP
- Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song
- Máy đo chân không: máy đo điện dung
- Đầu ra tần số cao: Max 300W
- Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator
- Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD
- Phương pháp: Tự động điều chỉnh
- Kích thước buồng: W500×D300×H200mm
- Kích thước làm việc: W400×D200mm
- Vật liệu buồng: Nhôm
- Khí phản ứng: 2 hệ (Argon, Oxy)
- Xả khí: Nitơ hoặc không khí khô
- Kiểm soát lưu lượng khí phản ứng: Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng
- Bơm chân không quay: 500L/phút. (bao gồm)
- Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: W700×D700×H1,285mm
- Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp
CÔNG TY TNHH IMALL VIỆT NAM
Bình luận