- Chế độ Plasma: RIE (chế độ DP option)
- Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song
- Máy đo chân không: máy đo điện dung
- Đầu ra tần số cao: Max 300W
- Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator
- Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD
- Phương pháp: Tự động điều chỉnh
- Kích thước buồng: W400×D250×H150mm
- Kích thước làm việc: W250×D170mm
- Vật liệu buồng: Nhôm
- Khí phản ứng: 2 hệ (Argon, Oxy)
- Xả khí: Nitơ hoặc không khí khô
- Kiểm soát lưu lượng khí phản ứng: Đồng hồ đo lưu lượng
- Bơm chân không quay: 345L/phút. (Option)
- Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: W540×D600×H600mm
- Nguồn điện: AC115V/AC220V 1 pha với máy hạ áp
CÔNG TY TNHH IMALL VIỆT NAM
Bình luận