- Dải trục X: 0-23.62in 0-600mm
- Dải trục Y: 0-25.59in 0-650mm
- Dải trục Z: 0-9.84in 0-250mm
- Độ phân giải: 0.1µm
- Độ phân giải Z scale dùng chế độ tự động lấy nét (TAF): -
- Camera: Camera CCD độ nhạy cao B&W
- Độ chính xác:
- E1xy (1.5+3L/1000)µm
- E1z (1.5+4L/1000)µm
- E2xy (2+4L/1000) µm
- E U,MPE (ISO10360-7:2011) - 3+5.5L/1000, 3+6.0L/1000**
- PF2D,MPE (ISO10360-7:2011) - 2.3µm
- Tốc độ truyền động: 300mm/s
- Chiếu sáng: Đèn LED trắng bề mặt
- Đường viền- Đèn LED trắng
- Đèn vòng lập trình- Đèn LED trắng
- Hệ thống đổi độ phóng đại: Programmable power turret (1x2x6x)
- Kích thước kính stage: 27.4x29.8in 697x758mm
- Chiều cao phôi tối đa: 9.8in 250mm
- Trọng lượng tải tối đa: 110lbs 50kg
- Kích thước: 51.5x78.1x70.6in 1309x1985x1794mm
- Trọng lượng: 3196lbs 1450kg
- Optional accessories: Tự động lấy nét bằng laser
- Rotary Index
Bình luận