- Dải trục X: 0-23.62in 0-600mm
- Dải trục Y: 0-25.59in 0-650mm
- Dải trục Z: 0-9.84in 0-250mm
- Độ phân giải: 0.02µm
- Độ phân giải Z scale dùng chế độ tự động lấy nét (TAF): 0.3µm
- Camera: Camera CCD độ nhạy cao B&W
- Độ chính xác:
- E1xE1y-(1.5+3L/1000)µm
- E1z-(1.5+4L/1000)µm
- E2xy-(2+4L/1000) µm
- Tốc độ truyền động: 200mm/s
- Chiếu sáng: Surface-White LED
- Contour- White LED
- Programmable Ring Light- White LED
- Hệ thống đổi độ phóng đại: turret được lập trình (1x2x6x)
- Kích thước kính stage: 27.4x29.8in 697x758mm
- Chiều cao phôi tối đa: 9.8in 250mm
- Trọng lượng tải tối đa: 88lbs 40kg
- Kích thước: 51.5x78.1x70.6in 1309x1985x1794mm
- Trọng lượng: 3196lbs 1450kg
- Optional accessories: Tự động lấy nét bằng laser
- Rotary Index
Bình luận