- Dải trục X: 0-15.75in 0-400mm
- Dải trục Y: 0-15.75in 0-400mm
- Dải trục Z: 0-9.84in 0-250mm
- Độ phân giải: 0.02µm
- Độ phân giải Z scale dùng chế độ tự động lấy nét (TAF): 0.3µm
- Camera: Camera CCD độ nhạy cao B&W
- Độ chính xác:
- E1xy-(1.5+3L/1000)µm
- E1z-(1.5+4L/1000)µm
- E2xy-(2+4L/1000) µm
- Tốc độ truyền động: 200mm/s
- Chiếu sáng: Đèn LED trắng bề mặt
- Đường viền- Đèn LED trắng
- Đèn vòng lập trình- Đèn LED trắng
- Hệ thống đổi độ phóng đại: Programmable power turret (1x2x6x)
- Kích thước kính stage: 19.4x21.7in 493x551mm
- Chiều cao phôi tối đa: 9.8in 250mm
- Trọng lượng tải tối đa: 66lbs 30kg
- Kích thước: 40.4x55.3x70in 1027x1407x1778mm
- Trọng lượng: 1276lbs 579kg
- Optional accessories: Tự động lấy nét bằng laser
CÔNG TY TNHH IMALL VIỆT NAM
Số hotline
(028) 3882 8382
Tài Khoản
Bình luận