Hệ thống PECVD TOB-DSP-1200℃-PECVD-IV (1200℃,4KW,10-1Pa)

• Công suất: 4KW
• Kích thước ống lò (mm): Dia 120(OD) X1800mm
• Kích thước: 1800X460X660
• Nguồn: 220V
• Số pha: Một pha
• Chế độ điều khiển
  • Điều khiển nhiệt độ Yudian: chỉ sử dụng nguyên lý điều khiển nhiệt độ PID cho 30 phần.
  • Điều khiển nhiệt độ FP93 (Công nghệ Nhật Bản)Chế độ điều khiển nhiệt độ
• Chế độ điều chỉnh nhiệt độ: Điều chỉnh thông minh PID
• Bảo vệ chập mạch và màn hình: Có
• Bảo vệ quá nhiệt: Có
• Bảo vệ quá dòng: Có
• Độ chính xác điều chỉnh: +/- 1 ℃
• Bộ khởi động: Bộ khởi động chuyển pha
• SCR: 106 / 16E Germany Simon Kang
• Miền nhiệt độ tối đa 1.2: 1200 ℃
• Miền nhiệt độ định mức 1.2: 1150 ℃
• Độ gia nhiệt: ≤30 ℃ / phút (có sẵn theo yêu cầu thay đổi)
• Độ gia nhiệt đề xuất: ≤15 ℃ / phút
• Kiểu cặp nhiệt điện: Kiểu K
• Chiều dài miền gia nhiệt 1.2: 205mm
• Nhiệt độ bề mặt xung quanh: ≤45℃
• Công suất Plasma RF
• Dải công suất đầu ra: 0-500W
• Công suất phản xạ tối đa: 10W
• Tần số tín hiệu: 13.56MHZ ± 0.005%
• Độ ồn: <30 dB
• Làm mát bằng khí: Phương pháp làm mát
• Công suất đầu vào: 208-240V 50 / 60HZ
• Thông số hệ thống cung cấp GX
• Dải đo tiêu chuẩn
• Bộ điều chỉnh lưu lượng proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM
•   (tùy chọn thang đo)
• Độ chính xác: ± 1.5%
• Giảm áp suất: <0.01MPa
• Độ lặp: ± 0.2% F.S
• Áp suất vận hành tối đa: 3MP
• Hệ thống thải VS-0.1
• Nguồn: 220V / 380V 380W
• Mức bơm 2L / S
• Đồng hồ đo điện trở chân không: ZDR-I
• Dải đo chân không: 0.1-10 5 Pa
• Bơm chân không: VRD-8
• Ống gấp khúc: KF25X1000mm
• Hệ thống chân không: 10 -1Pa

Thương hiệu: TOB

Hệ thống PECVD TOB-DSP-1200℃-PECVD-IV (1200℃,4KW,10-1Pa)

• Catalogue TOB-DSP-1200℃-PECVD-IV

Thương hiệu

TOB